中文
EN
首页
产品
激光工艺
点胶工艺
视觉检测
系统集成及自动化
了解申科谱
公司简介
发展战略
品牌历程
资质实力
品质保障
新闻动态
客户支持
服务网点
售前咨询
售后服务
联系我们
联系方式
关注我们
招贤纳才
EN
产品说明
适用于Si基晶圆切割, 蓝宝石表面开槽，Low-K层开槽等应用的全自动激光切割。
8寸,12寸晶圆自动对焦、自动切割。
产品构成：晶圆覆膜系统+自动对焦系统+视觉定位系统+激光切割系统+清洗系统及上下料系统
优势特点
高速高精度运动控制系统
自主研发光路系统：实现出光功率闭环控制，光束整形，可控光阑，末端光束质量检测
双视觉系统，实现自动对焦、精准定位，切割质量检测
下载更多资料
