800AW - Wafer AOI - 半导体 - 视觉检测 - 产品 - 珠海市申科谱工业科技有限公司

产品说明

晶圆外观缺陷检测设备主要针对切割前和切割后晶圆的外观缺陷检测。

优势特点

搭载高精度运动控制平台和高分辨率光学系统，利用光学成像技术和计算机图像处理算法来高效、精确地检测多类型多结构表面缺陷;
具有对焦速度快、检测精度高、检测稳定等特点；
设备模块化设计，实现客户不同尺寸产品的快速切换；
设备兼容性高，支持裸晶圆，切割后带钢圈晶圆及扩晶后子母环等不同上料方式。

技术参数

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