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系统集成及自动化应用领域
产品说明
光电芯片四面检测分选设备（1500AD）应用于光电类芯片端面、正面和背面缺陷的检测。
优势特点
通过视觉及微动机构配合，自动完成芯片定位；
顶针与吸嘴协同作业，确保芯片快速稳定剥离；
基于纳米级高精度微动平台、高速高精度运动控制软件及算法，实现光学系统的高速自动对焦，获取芯片四个表面的高解析度图像；
双工位作业模式实现了移载工位与检测工位的并行作业，提升设备产能；
模块化设计实现客户不同产品的快速切换。
技术参数
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