产品说明
Cencorp 1700 LC适用于Si基晶圆切割,蓝宝石表面开槽,Low-K层开槽等应用的全自动激光晶圆切割机。该设备配备晶圆覆膜系统、激光切割系统、清洗系统、搬运系统及上下料系统,可以很大程度上减少等待时间,提升整机效率。模块化设计,光路调试维护高效便捷。支持8英寸、12英寸晶圆,自动调焦,全自动生产。
优势特点
自主研发光路系统,实现出光功率闭环控制、光束整形、可控光阑、末端光束质量检测,聚焦光斑可达4μm
掌握针对各种材料的切割划线激光工艺组合
支持高精度视觉定位和激光切割质量检测
基于点激光测距仪激光自动对焦功能
隔振设计,不影响晶圆切割台精度
覆膜-切割-清洗,实现全自动生产